Ausschreibung · Finnland

Finnland – Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) – Defect inspection system

Auslandsverfahren: Finnland. Titel und Beschreibung stehen in der Originalsprache (Deutsch), ohne Übersetzung. Beträge stehen in der veröffentlichten Währung, Fristen in deutscher Zeit (MEZ/MESZ).

29.07.2026, 01:59 Angebotsfrist · abgelaufen

Beschreibung

VTT is looking to acquire an automated defect inspection tool for 200 mm and 300 mm patterned wafers. The tool will enable rapid tracking of defects that appear during the manufacturing process of functional devices (in-line and end-of-line in the Front-end process). The tool must be capable of detecting particles, voids, cracks, scratches, pits, bumps, and hazes in the pattern. The materials of the patterns that the machine must be able to analyze are silicon oxides and nitrides, polysilicon, metals, and photoresist. The object of the tender process and the technical requirements are described in more detail in the invitation to tender documents.

Analyse: Zuschlagskriterien, Eignung, Checkliste — mit Konto

Mit einem Konto liest Tender Automation die Vergabeunterlagen dieses Verfahrens und erstellt daraus eine Analyse: Zuschlagskriterien mit Gewichtung, Eignungsanforderungen, Zeitplan und eine Checkliste der einzureichenden Unterlagen.

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Angaben aus der Bekanntmachung

Auftraggeber: VTT Technical Research Centre of Finland Ltd
Land: Finnland
Sprache der Bekanntmachung: Deutsch
CPV: 38000000 — Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
Verfahrensart: Offenes Verfahren
Veröffentlicht: 16.06.2026
Angebotsfrist: 29.07.2026, 01:59
Kennung: d9ddb9d4-4c1a-4f52-a4d2-2e53e21cb096
Quelle: TED (EU-Amtsblatt)

Zum Vergabeportal

Verbindlich sind allein die Angaben auf dem Vergabeportal. Stand dieser Seite: 16.06.2026, 00:00.