Ausschreibung

Deutschland – Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) – DRIE-Anlage

Zu diesem Verfahren liegt bereits ein Zuschlag vor. Die Frist unten steht so in der Bekanntmachung; vergeben ist der Auftrag trotzdem. Zum Ergebnis

27.02.2026, 10:00 Angebotsfrist · abgelaufen

1 Los

Beschreibung

Allgemeine Beschreibung Für die Ausstattung des neuen Reinraums wird ein spezifischer Maschinenpark zur Herstellung, Bearbeitung und Integration von Mikro und Nanosystemen und verwandten Quantentechnologien beschafft. Im Rahmen dieser Ausschreibung werden Anlagen für eine klassische Mikrostrukturierungsprozesskette für den Reinraum be-schafft. Geplant ist eine reaktive Ionenätzanlage (RIE) mit induktiv gekoppeltem Plasma (ICP) zum Ätzen von Siliziumsubstraten oder -schichten. Die Ausschreibung umfasst lediglich die spezifizierte Anlage, die dafür benö-tigten Medien und Peripherien werden vom DLR separat bereitgestellt. DRIE-Anlage / Beschreibung Zum Ätzen tiefer Strukturen in Silizium wird eine Anlage zum reaktiven Ionentiefenätzen (deep reactive ion et-ching DRIE) benötigt. Mit diesem Verfahren sollen Strukturen mit hohem Aspektverhältnis in Si Substrate oder Si Schichten auf 100 mm und 150 mm Wafern mittels Lack- und Hartmasken geätzt werden. Auftragsgegenstand • Anlage gemäß Spezifikation inkl. Lieferung, Inbetriebnahme, Abnahme und Schulung • Es können neue, sowie neuwertige gebrauchte (refurbished) Systeme angeboten werden. Weitergehende Informationen sind der beigefügten Leistungsbeschreibung (Vertragsunterlagen) zu entnehmen.

Analyse: Zuschlagskriterien, Eignung, Checkliste — mit Konto

Mit einem Konto liest Tender Automation die Vergabeunterlagen dieses Verfahrens und erstellt daraus eine Analyse: Zuschlagskriterien mit Gewichtung, Eignungsanforderungen, Zeitplan und eine Checkliste der einzureichenden Unterlagen.

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Angaben aus der Bekanntmachung

Auftraggeber: Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR)
Ort: Köln
Bundesland: Baden-Württemberg
CPV: 38000000 — Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
Verfahrensart: Offenes Verfahren
Veröffentlicht: 29.01.2026
Angebotsfrist: 27.02.2026, 10:00
Kennung: 8372bb9d-9a8f-482f-8b4a-4326b6d12adf
Quelle: TED (EU-Amtsblatt)

Lose

Los 1

Einordnung

Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR) im Bestand

1.701 Ausschreibungen (davon 1.094 Ergebnisse)

3,1 Ø Bieterzahl (501 Ergebnisse)

407.787 € Median Zuschlagswert (371 Zuschläge)

30,2 Tage Ø Tage bis zur Frist (569 Ausschreibungen)

Auftraggeberprofil: alle Verfahren und Kennzahlen

Quelle: veröffentlichte Bekanntmachungen dieses Auftraggebers aus den angebundenen Vergabeportalen, Stand 01.10.2026.

Vergleichbare Verfahren: Labor- und Messtechnik in Baden-Württemberg

408 Zuschläge vom 01.11.2024 bis 01.10.2026

1,0 Median Bieterzahl (310 Zuschläge mit Angabe)

270.000 € Median Zuschlagswert (140 Zuschläge mit Wert)

53 Tage Median von Bekanntmachung bis Zuschlag (188 Verfahren)

Quelle: veröffentlichte Zuschlagsbekanntmachungen derselben CPV-Abteilung (38) im Bestand von Tender Automation; Werte, die ein Portal nicht veröffentlicht, fehlen in der jeweiligen Zahl. Stand der Auswertung: 01.10.2026. Alle Zuschläge

Verlauf des Verfahrens

Ausschreibung 29.01.2026
Deutschland – Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) – DRIE-Anlage
Ergebnis der Vergabe 27.03.2026
Deutschland – Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) – DRIE-Anlage

Zum Vergabeportal

Verbindlich sind allein die Angaben auf dem Vergabeportal. Stand dieser Seite: 12.09.2026, 18:21.