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Ausschreibung

Deutschland – Elektrische Maschinen, Geräte, Ausstattung und Verbrauchsartikel; Beleuchtung – Sputtercluster

Zu diesem Verfahren liegt bereits ein Zuschlag vor. Die Frist unten steht so in der Bekanntmachung; vergeben ist der Auftrag trotzdem. Zum Ergebnis

12.05.2025, 10:00 Angebotsfrist · abgelaufen
1 Los

Beschreibung

Im Rahmen dieser Ausschreibung werden Anlagen für eine klassische Mikrostrukturierungsprozesskette für den Reinraum beschafft. Teil der Prozesskette sind die Abscheidung und Strukturierung metallischer, dielektrischer und Halbleiter-Dünnschichten auf Substraten mit einem maximalen Durchmesser von 150 mm. Die Ausschreibung beinhaltet eine Kombi-Gerät mit Magnetron-Sputterquellen und Ionenstrahlätzanlage (ion beam etching IBE). Die Ausschreibung umfasst lediglich die spezifizierten Anlagen, die dafür benötigten Medien und Peripherien werden vom DLR separat bereitgestellt. Weitergehende Informationen sind der beigefügten Leistungsbeschreibung (Vertragsunterlagen) zu entnehmen.

Analyse: Zuschlagskriterien, Eignung, Checkliste — mit Konto

Mit einem Konto liest Tender Automation die Vergabeunterlagen dieses Verfahrens und erstellt daraus eine Analyse: Zuschlagskriterien mit Gewichtung, Eignungsanforderungen, Zeitplan und eine Checkliste der einzureichenden Unterlagen.

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Angaben aus der Bekanntmachung

Auftraggeber
Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR)
Ort
Köln
Bundesland
Baden-Württemberg
CPV
31000000 — Elektrische Maschinen, Geräte, Ausstattung und Verbrauchsartikel; Beleuchtung
Verfahrensart
Offenes Verfahren
Veröffentlicht
14.04.2025
Angebotsfrist
12.05.2025, 10:00
Kennung
9d7443eb-e120-419a-a128-de9a5389fc58
Quelle
TED (EU-Amtsblatt)

Lose

Verlauf des Verfahrens

Zum Vergabeportal

Verbindlich sind allein die Angaben auf dem Vergabeportal. Stand dieser Seite: 12.09.2026, 20:57.